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QRUI-1A系列探針臺簡介：
是一款在非真空條件下實現高低溫環境的測試探針臺。該產品采用氣冷制冷 ，自動控溫 ，設備配置非常豐富。自帶屏蔽暗室 ，一方面可以屏蔽無線電磁干擾 ，另外一方面也可以保持氮氣正壓環境下樣品在低溫時無結霜。該產品多數用于相關單位實驗室。
QRUI-1A系列探針臺產品優勢：
可搭配高低溫溫控系統,溫度范圍為-60-300℃
可實現半自動測試
微腔屏蔽
技術參數 | 產品型號 | QRUI-1A-150 | QRUI-1A-200 | QRUI-1A-300 |
探針臺 本體 | 電壓電流（可定制） | 500V/1A(標準) | 500V/1A(標準) | 500V/1A(標準) |
材料 | 航空鋁 | |||
卡盤大小 | 6" ,360 度轉動, 可微調 | 8" ，360 度轉動 ， 可微調 | 12" ，360 度轉動 ，可微調 | |
卡盤行程和精度 | 6"*6" ，精度 1um， | 8"*8" ，精度 1um， | 12"*12 ，精度 1um | |
卡盤氣浮移動范圍 | 360 度快速移動，便于快速定位 ，提高測試效率 | |||
卡盤拉出功能 | 卡盤可以快速拉出，拉出面積占比大于80% ，便于更換樣品 | |||
卡盤吸附方式 | 真空吸附 , 可選擇環形吸附或者多孔吸附 (適用于薄片或者射頻器件) | |||
背電極測試功能 | 具備 樣品臺電學獨立懸空 ， 帶 4mm 香蕉頭插口 | |||
腔體 | 帶腔體暗室，可以屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環境下樣品在低溫時無結霜 | |||
溫控 | 溫度范圍 | -60-300℃ | -60-300℃ | -60-300℃ |
溫控精度 | 溫度分辨率 ： 0.01°C | |||
類型 | 同軸/三同軸/高壓 | |||
低控溫速率 | ±0.1°C /小時 | |||
制冷方式 | 氣冷 (自動控溫) | |||
針座平 臺 | 材質 | U 型平臺 ， 鍍鎳 ， 與探針座之間具備更強吸附力 | ||
大小 | 最多可放置6個探針座 | 最多可放置8個探針座 | 最多可放置8個探針座 | |
升降平臺 | 二階抬桿一次性6mm，接觸，分離；微調行程為50mm，分辨率為1um | |||
顯示系 統 | 顯微鏡成像系統 | 體式顯微鏡/視頻顯微鏡/金相顯微鏡+CCD 成像系統 | ||
倍率范圍 | 15X~100X/60X~420X/20X~4000X | |||
顯微鏡行程 | 具備高剛性龍門架結構 ， XYZ 行程分別為 2 英寸*2 英寸*2 英寸 ， 精度 1um | |||
CCD 成像系統 | 200 萬/500 萬像素 ， 幀率 60fps ，帶拍照、 錄像、 測量功能 | |||
探針座 | 種類 | DMP-200/100/80/75 | ||
X-Y-Z 行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
機械精度 | 0.5um/0.7um/2um/3um | |||
夾具 | 漏電精度 | 10pA/100fA/20fA | ||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/coax/triax接口/SMA/裸線等 | |||
其它 | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射頻/同軸/三軸加熱卡盤/探針卡/光電流顯微鏡/大功率 | ||
電力需求 | 220V/50HZ | |||
詳細配置方案可討論后給出
